查詢結果分析
來源資料
頁籤選單縮合
題名 | 單晶碳化矽在微電子及微感測元件之應用=Applications of Single Crystal SiC in Microelectronic Devices and Microsensors |
---|---|
作者 | 張煒旭; 黃宇中; 林稔杰; Chang, Wei-hsu; Huang, Yu-chung; Lin, Ren-jie; |
期刊 | 科儀新知 |
出版日期 | 200302 |
卷期 | 24:4=132 2003.02[民92.02] |
頁次 | 頁4-14 |
分類號 | 448.5 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 單晶碳化矽; 微電子; 微感測元件; |