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| 題 名 | 靜電消除器於膜厚量測設備之應用與改善 |
|---|---|
| 作 者 | 郭侃誠; 蕭名男; 江志強; 王志延; 莊蕙端; | 書刊名 | 電子月刊 |
| 卷 期 | 9:3=92 2003.03[民92.03] |
| 頁 次 | 頁182-189 |
| 專 輯 | 靜電放電防護技術特輯.1 |
| 分類號 | 448.5 |
| 關鍵詞 | 靜電消除器; 低溫多晶矽平面顯示器; 靜電放電; Ionizer; LTPS TFT-LCD; Electrostatic discharge; ESD; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |