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題名 | 掃描探針微影術之機制介紹 |
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作者 | 羅榮立; | 書刊名 | 科儀新知 |
卷期 | 23:6=128 2002.06[民91.06] |
頁次 | 頁61-67 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 掃描探針顯微術; 掃描穿隧顯微術; 原子力顯微術; 掃描探針微影術; 掃描近場顯微術; Scanning probe microscopy; SPM; Scanning tunneling microscopy; STM; Atomic force microscopy; AFM; Scanning near-field optical microscopy; SNOM; Scanning probe lithography; SPL; |
語文 | 中文(Chinese) |