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題 名 | SOI晶圓製程技術及應用 |
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作 者 | 張永明; 周志豪; 張嘉福; 葉性銓; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 233 2002.08[民91.08] |
頁 次 | 頁88-96 |
專 輯 | 微機電技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 絕緣體上矽晶層; 製程; 應用; SOI; Silicon on insulator; Fabrication; Application; |
語 文 | 中文(Chinese) |