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題名 | 化學機械研磨製程對摻氟二氧化矽的影響=The Study of Chemical-Mechanical Polishing Process for Fluorine-Doped Silicon Oxide |
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作者 | 詹森博; 戴寶通; 貢中元; 蔡明蒔; Chan, Sun-bou; Pai, Bou-tong; Kung, Chung-yuan; Tsai, Min-shih; |
期刊 | 興大工程學刊 |
出版日期 | 200203 |
卷期 | 13:1 2002.03[民91.03] |
頁次 | 頁49-55 |
分類號 | 440.34 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 化學機械研磨; 摻氟二氧化矽; 水氣吸附; Chemical mechanical polishing; Fluorine-doped silicon dioxide; Moisture absorption; |