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題 名 | 改良式電弧離子鍍膜技術 |
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作 者 | 呂明生; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 182 2002.02[民91.02] |
頁 次 | 頁92-100 |
專 輯 | 高性能鍍膜技術專題 |
分類號 | 472.16 |
關鍵詞 | 磁場過濾陰極電弧離子鍍膜; 氮化鋁鈦; 表面化學分析; 高解析度穿透式電子顯微鏡; Magnetic filter cathodic arc ion plating; (Ti-Al)N; ESCA Analysis; HRTEM; |
語 文 | 中文(Chinese) |