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題名 | 直流磁控濺鍍沉積氮化鋁鈦/氮化釩多層薄膜機械性質之研究=An Investigation of Mechanical Properties of TiA1N/VN Multilayer Films Prepared Using DC Reactive Magnetron Sputtering |
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作者 | 劉見成; 蔡明璟; Liu, C. C.; Tsai, M. C.; |
期刊 | 陶業 |
出版日期 | 20100700 |
卷期 | 29:3 2010.07[民99.07] |
頁次 | 頁41-48 |
分類號 | 440.33 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 氮化鋁鈦/氮化釩多層薄膜; 直流磁控濺鍍; 磨耗; TiA1N/VN multilayers; DC reactive magnetron sputtering; Wear; |