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題 名 | 直流磁控濺鍍沉積氮化鋁鈦/氮化釩多層薄膜機械性質之研究=An Investigation of Mechanical Properties of TiA1N/VN Multilayer Films Prepared Using DC Reactive Magnetron Sputtering |
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作 者 | 劉見成; 蔡明璟; | 書刊名 | 陶業 |
卷 期 | 29:3 2010.07[民99.07] |
頁 次 | 頁41-48 |
分類號 | 440.33 |
關鍵詞 | 氮化鋁鈦/氮化釩多層薄膜; 直流磁控濺鍍; 磨耗; TiA1N/VN multilayers; DC reactive magnetron sputtering; Wear; |
語 文 | 中文(Chinese) |