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科儀新知
22:5=121 2001.04[民90.04]
頁67-75
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題 名
掃描電容顯微鏡分析技術及其在矽晶圓表面分析之應用
作 者
張茂男
;
陳志遠
;
潘扶民
;
書刊名
科儀新知
卷 期
22:5=121 2001.04[民90.04]
頁 次
頁67-75
分類號
471.713
關鍵詞
掃描電容顯微鏡
;
矽晶圓表面分析
;
掃描探針顯微鏡
;
二維載子濃度分析
;
語 文
中文(Chinese)
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