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題名 | 氧化效應在銅/鉭/矽基材和銅/鉭/二氧化矽/矽基材之界面反應影響研究=The Effect of Oxygen on the Interfacial Reactions of Cu/Ta/Si and Cu/Ta/SiO[feaf]/Si multilayers |
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作者 | 殷開明; 開執中; 陳福榮; Yin, Kai-min; Kai, Ji-jung; Chen, Fu-rong; |
期刊 | 防蝕工程 |
出版日期 | 200006 |
卷期 | 14:2 2000.06[民89.06] |
頁次 | 頁25-34 |
分類號 | 448.552 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 氧化; 晶界擴散; 擴散障礙層; 銅導線製程; 穿透式電子顯微鏡; Oxidation; Grain-boundary diffusion; Diffusion-barrier; Cu metallization; Transmission electron microscope; |