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題名 | 多重變異來源特性之半導體製程取樣與統計製程管制策略=Rational Sampling and Statistical Process Control for Semiconductor Processes Subject to Multiple Variation Sources |
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作者 | 陳正剛; 郭瑞祥; 葉珮甄; Chen, Argon; Guo, R. S.; Yeh, P. J.; |
期刊 | 中國統計學報 |
出版日期 | 200009 |
卷期 | 38:3 2000.09[民89.09] |
頁次 | 頁269-285 |
分類號 | 448.552 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 合理分組取樣; 多變量T[feb4]管制圖; 統計製程管制; Multivariate T[feb4]control chart; Rational sub-grouping; Statistical process control; SPC; |