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來源資料
量測資訊
75 2000.09[民89.09]
頁48-51
精密機械工藝
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測定儀器
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題 名
微力控制高準確度位移檢測模組技術
作 者
何展効
;
江文旺
;
徐紹維
;
陳興
;
蕭仁明
;
方柏權
;
書刊名
量測資訊
卷 期
75 2000.09[民89.09]
頁 次
頁48-51
分類號
471.3
關鍵詞
表面型態
;
量測
;
位移檢測模組
;
探針法
;
語 文
中文(Chinese)
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