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題 名 | 微細粉末於薄膜硬碟製程改進之發展動向=Development Trend of Applying Fine Powder Technology in Magnetic Hard Disk Manufacturing |
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作 者 | 譚安宏; 林哲賢; 汪建民; | 書刊名 | 粉末冶金會刊 |
卷 期 | 24:2 1999.05[民88.05] |
頁 次 | 頁105-110 |
分類號 | 471.6523 |
關鍵詞 | 氧化鋁粉; 鑽石微粉; 硬碟片; 拋光; 刻紋; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 隨著硬碟片記錄密度的提高及磁頭飛行高度的降低,對於碟片鋁基板表面鎳-磷層 的拋光及刻紋製程的要求亦漸趨嚴苛。利用各種微細粉末磨粒在碟片表面刻製出特定的紋 路,獲致平坦及無缺陷的最佳碟片表面,以利磁性薄膜之濺鍍被覆,並降低磁頭在碟片表面 的飛行高度,可大幅增加硬碟之記錄容量。氧化鋁及鑽石微粉在高科技硬碟製程應用,開創 了微粉在精密電子產業的新天地。在微粉特性上的要求,粒度分佈及尺寸篩選要準確,避免 極小顆粒及團聚現象;形狀要具有優良之切削能力,不可造成研磨顆粒埋入碟片表面。拋光 及刻紋製程要具有高移除率及獲得沒有深刻痕之均勻表面。在達到目標粗糙度值的條件下, 不會造成碟片表面腐蝕及讀寫訊號損失的問題,同時刻紋製程不會造成碟片表面之材質及應 力變化。未來發展上,以化學機械拋光法(CMP)來整合基板拋光與碟片刻紋的製程,是眾所矚 目的研發課題。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。