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題 名 | 電子束微影技術及應用 |
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作 者 | 吳仲卿; 謝蔚諮; 李晃銘; 羅士哲; 楊景棠; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 209 2000.08[民89.08] |
頁 次 | 頁93-98 |
專 輯 | 奈米工程與微機電系統技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 電子束微影術; 光碟片模板; 光罩; 奈米結構; 微機電; Electron beam lithography; Compact disk mastering; Optical mask; NanoStructures; Micro electro-mechanical systems; |
語 文 | 中文(Chinese) |