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題 名 | 微機電系統光罩圖的參數化設計=On the Parametric Approach to Mems Mask Design |
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作 者 | 戴任詔; 宋開泰; | 書刊名 | 技術學刊 |
卷 期 | 17:1 2002.03[民91.03] |
頁 次 | 頁73-82 |
分類號 | 446.8403 |
關鍵詞 | 微機電系統; 參數化設計; 光罩圖設計; Microelectromechanical system; MEMS; Parametric design; Mask design; |
語 文 | 中文(Chinese) |