您的瀏覽器不支援或未開啟JavaScript功能,將無法正常使用本系統,請開啟瀏覽器JavaScript功能,以利系統順利執行。
返回
/NclService/
快速連結
跳到主要內容
:::
首頁
關於本站
網站導覽
聯絡我們
國家圖書館
English
開啟查詢結果分析
查詢資訊
期刊論文索引(找篇目)
期刊指南(找期刊)
近代 (1853-1979年) 港澳華文期刊索引
漢學中心典藏大陸期刊論文索引
中國文化研究論文目錄
期刊瀏覽
檢索歷程
期刊授權
出版機構
公佈欄
常見問題
軟體工具下載
:::
首頁
>
查詢資訊
>
期刊論文索引查詢
>
查詢結果
>
詳目列表
查詢結果分析
來源資料
電子月刊
4:9=38 1998.09[民87.09]
頁99-106
電機工程
>
電燈廠
相關文獻
半導體電漿蝕刻設備介紹
光纖通訊雷射二極體電漿蝕刻探討
鐵電氧化物材料的電漿蝕刻系統設計
真空科技與半導體電漿蝕刻製程技術
電漿蝕刻在高解析度低溫複晶矽電晶體陣列製程之應用
半導體工業用矽化氫(Silane)之物性及事故案例
大氣壓力游離式質譜儀在半導體工業之應用
半導體工業空氣中揮發性有機化合物之分析
硒化鎘奈米半導體晶體的合成及在薄膜製備上的應用
半導體產業製程與用電特性之調查分析
第9筆 /總和 144 筆
跳頁至
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31
32
33
34
35
36
37
38
39
40
41
42
43
44
45
46
47
48
49
50
51
52
53
54
55
56
57
58
59
60
61
62
63
64
65
66
67
68
69
70
71
72
73
74
75
76
77
78
79
80
81
82
83
84
85
86
87
88
89
90
91
92
93
94
95
96
97
98
99
100
101
102
103
104
105
106
107
108
109
110
111
112
113
114
115
116
117
118
119
120
121
122
123
124
125
126
127
128
129
130
131
132
133
134
135
136
137
138
139
140
141
142
143
144
/ 144 筆
回查詢結果
頁籤選單縮合
基本資料
引用格式
國圖館藏目錄
全國期刊聯合目錄
勘誤回報
我要授權
匯出書目
題 名
半導體電漿蝕刻設備介紹
作 者
邱顯光
;
洪啟超
;
林鴻志
;
書刊名
電子月刊
卷 期
4:9=38 1998.09[民87.09]
頁 次
頁99-106
專 輯
半導體製程設備專輯
分類號
448.57
關鍵詞
半導體
;
電漿蝕刻
;
語 文
中文(Chinese)
頁籤選單縮合
推文
引用網址
引用嵌入語法
Line
FB
Google bookmarks
本文的引用網址:
複製引用網址
本文的引用網址:
複製引用網址