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題名 | 從干涉術看光學系統之波前檢驗方法 |
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編 次 | 上 |
作者姓名(中文) | 陳怡君; 李舒昇; 李世光; 廖宏榮; | 書刊名 | 光訊 |
卷期 | 80 1999.10[民88.10] |
頁次 | 頁1-4 |
分類號 | 471.7 |
關鍵詞 | 干涉術; 光學系統; 波前檢驗; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 光學波前量測是研究光學系統特性的重要課題之一。本文首先探討多種以干涉術 為基本量測原理之非共路徑及共路徑干涉式光波前量測儀器的優缺點,再以國科會產學計畫 執行成果,經臺大微機電系統研究群與華錦光電公司研發之創新光波前量測系統為例,詳細 探討光學波前量測之各種理論背景。 光波前檢測為我國發展高科技高性能機電系統, 如 CD-R、DVD、光碟機及磁碟機等工業之不可或缺的研發與生產設備。 |
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