查詢結果分析
來源資料
頁籤選單縮合
題 名 | 以全反射外差干涉術作微小位移之量測 |
---|---|
作 者 | 邱銘宏; | 書刊名 | 健行學報 |
卷 期 | 19:1 1999.12[民88.12] |
頁 次 | 頁17-22 |
分類號 | 336.9 |
關鍵詞 | 全反射外差干涉術; 微小位移之量測; 光學測量; Total-internal-reflection heterodyne interferometry; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本文將提出一種不同於傳統以邁克森干涉儀(Michelson interferometer )測量微小位移測量的方法,其方法是利用共光程全反射外差干涉術(total-internal-reflection heterodyne interferometry)來測量因位移使角度改變所引起的相位變化,此相位變化量的大小取決於入射角度及全反射的次數多寡,其間的關係可藉由電腦程式的算式的運算將所得之相位變化量換成微小位移的大小,不但可免去邁克森干涉儀不共光程所帶來環境擾動的影響,而且可以保持相當高的精確度,對於精密加工與機械定位有相當大的幫助,其精確度預估在幾個微米(μm)且測量範圍預計在幾百微米(μm)之內。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。