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來源資料
化工技術
7:12=81 1999.12[民88.12]
頁154-177
材料化學
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電子材料
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題名
輸送現象在CZ矽晶生長上的應用
作者
林明獻
;
書刊名
化工技術
卷期
7:12=81 1999.12[民88.12]
頁次
頁154-177
專輯
化工與半導體工業專輯
分類號
349.3
關鍵詞
輸送現象
;
矽晶生長
;
CZ法
;
語文
中文(Chinese)
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