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題名 | 積體電路生產線上各檢驗站缺陷數與產品良率關聯性之研究=A Study on Relationship between In-Line Inspection and Yield in IC Fabrication |
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作者 | 唐麗英; 李威儀; 黃建隆; Tong, Lee-ing; Lee, Wei-i; Huang, Chien-lung; |
期刊 | 品質學報 |
出版日期 | 19980600 |
卷期 | 5:1 民87.06 |
頁次 | 頁135-152 |
分類號 | 494.568 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 積體電路; 缺陷; 線上檢驗; 良率; Integrated circuit; Defect; In-line inspection; Yield; |