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來源資料
品質學報
5:1 民87.06
頁135-152
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題 名
積體電路生產線上各檢驗站缺陷數與產品良率關聯性之研究=A Study on Relationship between In-Line Inspection and Yield in IC Fabrication
作 者
唐麗英
;
李威儀
;
黃建隆
;
書刊名
品質學報
卷 期
5:1 民87.06
頁 次
頁135-152
分類號
494.568
關鍵詞
積體電路
;
缺陷
;
線上檢驗
;
良率
;
Integrated circuit
;
Defect
;
In-line inspection
;
Yield
;
語 文
中文(Chinese)
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