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題 名 | 特徵為基礎之晶圓缺陷圖樣辨識與分類演算法=Feature Based Defect Map Pattern Recognition and Classification Algorithm |
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作 者 | 陳飛龍; 謝祥文; | 書刊名 | 工業工程學刊 |
卷 期 | 19:4 2002.07[民91.07] |
頁 次 | 頁17-24 |
分類號 | 494.56 |
關鍵詞 | 良率提升; 缺陷圖樣辨識; 特徵向量; Yield enhancement; Spatial defect pattern; Feature vector; |
語 文 | 中文(Chinese) |