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題名 | 電漿工程科技在表面處理工業應用之發展 |
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編 次 | 上 |
作者 | 艾啟峰; | 書刊名 | 科儀新知 |
卷期 | 20:3=107 1998.12[民87.12] |
頁次 | 頁79-89 |
分類號 | 472.15 |
關鍵詞 | 電漿工程科技; 表面處理; 工業應用; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 以電漿為媒介,並藉著電漿中離子能量輔助在表面被覆一層附著力強、膜質緊密 之高功能膜為一高科技環保製程。為使技術本土化及普及化,自立開發各式電漿產生、被覆 及控制等整體裝置進行製程及產品研究,進而與業界合作將實驗室技術轉化成經濟規模的工 業產型技術,對環保公害防制作出具體貢獻。全文將有系統的從電漿基本性質電漿離子被覆 製程裝置發展躍進到工業型技術作一氣呵成的介紹。 |
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