頁籤選單縮合
題名 | 半導體工業空氣中揮發性有機化合物之分析 |
---|---|
作者 | 黃覃君; | 書刊名 | 科儀新知 |
卷期 | 20:2=106 1998.10[民87.10] |
頁次 | 頁30-38 |
分類號 | 445.63 |
關鍵詞 | 半導體工業; 空氣中揮發性有機化合物; Volatile organic compounds; VOCs; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 結合不鏽鋼採樣筒與 GC-MS 分析可成功地應用在半導體廠之空氣 VOCs 的檢測, 本文除說明 VOCs 之定義,介紹 TO-14 之檢測流程與優缺點外, 並舉出半導體廠週界與無 塵室內空氣檢測實例作為說明。 |
本系統之摘要資訊系依該期刊論文摘要之資訊為主。