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來源資料
電子月刊
4:9=38 1998.09[民87.09]
頁107-113
電機工程
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電燈廠
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匯出書目
題 名
下世代ULSI銅鍍膜技術
作 者
邱興邦
;
書刊名
電子月刊
卷 期
4:9=38 1998.09[民87.09]
頁 次
頁107-113
專 輯
半導體製程設備專輯
分類號
448.57
關鍵詞
銅鍍膜
;
銅導線
;
語 文
中文(Chinese)
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