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題名 | 噴墨列印頭的製造技術 |
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作者姓名(中文) | 謝樹崢; 藍元亮; 莊育洪; | 書刊名 | 光學工程 |
卷期 | 62 1998.06[民87.06] |
頁次 | 頁24-28 |
分類號 | 471.643 |
關鍵詞 | 噴墨列印頭; 熱氣泡; 壓電; 光刻法; 化學汽相沉積; 濺射; 反應性離子蝕刻; 離子束蝕刻; 乾膜; 捲帶式自動貼合; Ink jet printhead; Thermal bubble; Piezoelectric; Lithography; Chemical vapor deposition; CVD; Sputtering; Reactive ion etching; RIE; Ion milling; Dry film; Tape automation bonding; TAB; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 噴墨列印頭是噴墨印表機的關鍵零件。熱氣泡式噴墨列印頭採用半導體的薄膜製程技術來製造。本文將說明熱氣泡式噴墨列印頭的薄膜製程、封裝製程和測試分析。 |
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