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來源資料
機械技術雜誌
160 1998.06[民87.06]
頁104-119
工程學總論
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其他非金屬材料
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題 名
以物理氣相沈積(PVD)鍍類似鑽石碳膜(DLC)
編 次
上
作 者
宋健民
;
書刊名
機械技術雜誌
卷 期
160 1998.06[民87.06]
頁 次
頁104-119
分類號
440.34
關鍵詞
物理氣相沈積
;
鑽石膜
;
碳膜
;
PVD
;
DLC
;
語 文
中文(Chinese)
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