查詢結果分析
來源資料
頁籤選單縮合
題名 | 半導體無塵室能源節約之可行方法=The Plane of Energy Comservation for Semiconductor Manufacturing Clean Room |
---|---|
作者 | 胡石政; 陳明坤; Hu, Shih-cheng; Chen, Ming-kuen; |
期刊 | 中國冷凍空調雜誌 |
出版日期 | 19971200 |
卷期 | 35 1997.12[民86.12] |
頁次 | 頁88-93 |
分類號 | 446.64 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 半導體無塵室; 能源節約; 冷凍空調; |
中文摘要 | 半導體無塵室由於室內機器發熱量大,外氣導入量多,空氣輸送動力大及幾乎全 年 24 小時的長時間運轉等理由而成為能源消耗極密集的 " 設備 "。 本文將針對半導體無 塵室之能源消耗及其可行之能源節約方法作一番探討。 |
本系統之摘要資訊系依該期刊論文摘要之資訊為主。