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題名 | SMIF--耀眼的晶圓隔離傳輸技術 |
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作者姓名(中文) | 李志中; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 175 1997.10[民86.10] |
頁次 | 頁166-172 |
專輯 | 產業機械技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | SMIF Minienvironment; 晶圓隔離; 半導體; 機械介面; 潔淨室; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 近年來,半導體的製造技術愈來愈趨向高精密化及細小型化的需求;因此,對於 製程環境的品質,亦變得愈為敏感,外界異物稍微的干擾,即影響產品的品質與良率。對於 晶圓在彼所需之製程環境,如何隔離晶圓使其不受到外界異物之干擾侵犯,已成為半導體廠 及設備製造公司所不可或缺的一項技術。本文旨在介紹在 14 年前即已提出的一種晶圓隔離 技術, 而如今正廣受臺灣及歐美半導體廠採用的技術 -- 具標準機械介面之小型化潔淨室 (SMIF Minienvironment) 的發展與國內著名半導體廠使用此一技術之參考經驗。 希望藉由 本文的介紹,能收到拋磚引玉的效果,提供國內自動化業者瞭解發展此一技術的可行性,進 而能落實國內自主研發此項技術的策略。 |
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