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來源資料
量測資訊
57 1997.09[民86.09]
頁27-43
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題 名
SPM在半導體工業之運用與實例
作 者
陳恆生
;
衣冠君
;
書刊名
量測資訊
卷 期
57 1997.09[民86.09]
頁 次
頁27-43
專 輯
半導體量測標準與儀器研發
分類號
448.552
關鍵詞
半導體工業
;
掃描式探針顯微儀
;
Scanning probe microscope
;
SPM
;
語 文
中文(Chinese)
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