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題名 | A Micro-Hotplate for Integrated Thin-Film Gas Sensors=整合式薄膜氣體感測器用微熱板 |
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作者 | Fung,Samuel K. H.; Tang,Zhenan; Chan,Philip C. H.; Sin,Johnny K. O.; Cheung,Peter W.; | 書刊名 | Journal of the Chinese Institute of Electrical Engineering |
卷期 | 2:1 1995.02[民84.02] |
頁次 | 頁75-79 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 氣體感測器; 半導體薄膜; 微熱板; 溫度控制; Gas sensors; Semiconductor thin films; Micro-hotplates; Temperature control; |
語文 | 英文(English) |