查詢結果分析
來源資料
頁籤選單縮合
題名 | 微電子之超微量分析技術= |
---|---|
作者 | 楊末雄; 柯富祥; 魏文晴; |
期刊 | 電子月刊 |
出版日期 | 19960600 |
卷期 | 2:6=11 1996.06[民85.06] |
頁次 | 頁37-45 |
分類號 | 448.57 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 微電子; 超微量分析技術; |
中文摘要 | 隨著積體電路元件的微細化及高密度化的趨勢,半導體製程中所使用之 材料及化學品純度的提升,及晶片表面污染的防制等,勢將日趨於嚴格。微電子 技術的發展,除了有賴於製程的改進外,超微量分析技術的支援與配合亦為不可 或缺的需求。本文首先就微電子化學分析的特性作一說明,其次介紹目前較常被 使用之微電子化學分析的技術,並探討如何藉由品管系統的實施,未達成超微量 分析數據品質管制的目標。最後並就超微量分析技術實際應用於矽晶片表面污染 及微電子化學品中不純物的分析,試舉實例予以說明。 |
本系統之摘要資訊系依該期刊論文摘要之資訊為主。