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題 名 | InP化學蝕刻與指狀透明金屬電極對正面耦光型光檢測器的效應=Effects of InP Chemical Etching and TCO Finger Electrodes on the Surface Coupled Photodiode |
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作 者 | 楊奇達; 雷伯薰; 王琮民; 夏琳傑; 龔育呈; 林佳德; | 書刊名 | 真空科技 |
卷 期 | 23:3 2010.09[民99.09] |
頁 次 | 頁13-21 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 砷化銦鎵檢光器; 化學蝕刻; 光響應; 銦鋅氧化物; InGaAs photodiode; Chemical etching; Responsivity; Indium zinc oxide; IZO; |
語 文 | 中文(Chinese) |