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題名 | CCD定位技術在多軸誤差檢測系統的應用 |
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作者 | 周令宇; 周晟; 范光照; 章明; | 書刊名 | 光學工程 |
卷期 | 50 1995.06[民84.06] |
頁次 | 頁20-30 |
分類號 | 446.8401 |
關鍵詞 | 三次元量床; 複利葉相角偏移; 自準儀; Coordinate measuring machine; CMM; Charge couple device; CCD; Fourier phase shift; Autocollimator; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本文提供了一個精密的多軸量測系統(MDFM),可即時量時CMM驅動軸移動時所發生的Pitch、Roll、Yaw等偏擺誤差及三個直線誤差。此系統乃由雷射定位及自準儀改良而來,並且提出一個新穎的定位技術;以CCD取代四象位光電二極體作為感測元件。系統直線誤差的量測解析度可優於1μm,而角度偏擺誤差的量測解析度優於0.5arcses。 |
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