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來源資料
大同材料學刊
7 1993.06[民82.06]
頁75-79+84
金屬工藝
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金屬工藝
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題名
熱處理對電漿CVD氧化錫薄膜導電度之影響=
作者
黃瑩民
;
期刊
大同材料學刊
出版日期
199306
卷期
7 1993.06[民82.06]
頁次
頁75-79+84
分類號
472
語文
chi
關鍵詞
熱處理
;
電漿
;
氧化錫薄膜
;
導電度
;
CVD
;
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