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來源資料
核子科學
23:6 1986.12[民75.12]
頁401-406
核子工程
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核子工程 Nuclear Engineering
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題 名
利用測試腔裝置測量自製濺射離子幫浦之抽氣速率
作 者
吳錦裕
;
書刊名
核子科學
卷 期
23:6 1986.12[民75.12]
頁 次
頁401-406
分類號
449
關鍵詞
抽氣
;
速率
;
測量
;
測試腔
;
裝置
;
幫浦
;
濺射
;
離子
;
語 文
中文(Chinese)
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