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微波電漿化學氣相法沈積SiNC硬膜及其特性分析:Growth and Characterization of SiNC Hard Film by MPCVD
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
14:2 2001.07[民90.07]
- 頁 次:
頁27-33
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題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
9:2 1996.07[民85.07]
- 頁 次:
頁18-28
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
4:2 1991.05[民80.05]
- 頁 次:
頁31-36
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
3:3 1990.08[民79.08]
- 頁 次:
頁19-35
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
3:2 1990.05[民79.05]
- 頁 次:
頁12-23
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
2:3 1989.08[民78.08]
- 頁 次:
頁33-39
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
26:2 1988.06[民77.06]
- 頁 次:
頁80-89
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
23:6 1986.12[民75.12]
- 頁 次:
頁401-406
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
1:2 1988[民77.]
- 頁 次:
頁22-28
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
10:3 1988.06[民77.06]
- 頁 次:
頁278-282
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
198 2013.09[民102.09]
- 頁 次:
頁9-20
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
22:4 2009.12[民98.12]
- 頁 次:
頁24-33