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題 名 | Nitrogen Effect on the Diamond Deposition Processing by 915-MHz Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Reactor=以915-MHz之微波電漿輔助化學氣相法探討添加氮氣對於成長鑽石的影響 |
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作 者 | 蔡宏營; 郭桂林; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷 期 | 28:2 2007.04[民96.04] |
頁 次 | 頁157-162 |
分類號 | 468.6 |
關鍵詞 | 微波電漿輔助化學氣相法; 鑽石薄膜; 氮濃度效應; Microwave plasma enhanced Chemical vapor deposition; Diamond deposition; Nitrogen effect; |
語 文 | 英文(English) |