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| 題 名 | 碳化矽晶圓加工趨勢分析=Analysis of Trends in Silicon Carbide Wafer Processing |
|---|---|
| 作 者 | 林東穎; 鄭凱文; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 503 2025.02[民114.02] |
| 頁 次 | 頁13-19 |
| 分類號 | 440.34 |
| 關鍵詞 | 碳化矽加工; 晶錠分片; 晶圓研磨; Silicon carbide processing; Ingot slicing; Wafer grinding; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |