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| 題 名 | SiC晶圓超音波研磨砂輪的2D振幅與磨耗健康狀態的機上AOI量測技術 |
|---|---|
| 作 者 | 劉展林; 江昰霆; 涂嘉哲; 陳政雄; | 書刊名 | 量測資訊 |
| 卷 期 | 217 2024.09[民113.09] |
| 頁 次 | 頁60-66 |
| 分類號 | 472.174 |
| 關鍵詞 | 正面顯微; 超音波振幅量測; 頻差閃爍; 數位影像相關法; SiC晶圓研磨砂輪; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |
| 中文摘要 | 本研究提出了一種創新的機上 AOI 超音波振幅量測方法,透過正面顯微測量光路設計, 可應用於大型尺寸刀具或有空間限制的場合。我們使用頻差閃爍照明原理,使取樣率只有數 十 Hz 的一般工業相機,可以量測到數十 kHz 的高頻超音波刀具振動位移。再利用數位影像 相關法(Digital Image Correlation) 分析,估算每張影像微小位移。針對數種圖像清晰度函數 (Image Sharpness Function)進行研究與比對,並將之應用於最佳閃爍照明的曝光參數自動化 選用。最後,本研究以一個直徑為 250mm 的晶圓研磨砂輪在 20kHz 超音波震動量測為例, 研究結果顯示本技術實現數十 kHz 以上的超音波振動量測,且量測解析度可達 0.2um。 |
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