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| 題 名 | 鋁鈧合金靶材成形與薄膜驗證=Fabrication and Thin Film Characterization of Aluminum Scandium Alloy Targets |
|---|---|
| 作 者 | 高宥榛; 陳佑明; 吳禹函; | 書刊名 | 工業材料 |
| 卷 期 | 455 2024.11[民113.11] |
| 頁 次 | 頁110-117 |
| 專 輯 | 先進陶瓷技術發展與應用技術專題 |
| 分類號 | 448.65 |
| 關鍵詞 | 鋁鈧合金靶; 真空電弧熔煉法; 壓電薄膜; AlSc target; Vacuum arc melting; Piezoelectric thin film; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |