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題 名 | 乾膜光阻副資材轉製再利用技術=Dry Film Photoresist Sub-material Transformation and Reuse Technology |
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作 者 | 吳清茂; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 441 2023.09[民112.09] |
頁 次 | 頁132-137 |
專 輯 | 低碳構裝材料及再利用技術專題 |
分類號 | 484.53 |
關鍵詞 | 乾膜光阻; 化學回收; 熱裂解; Dry film photoresist; Chemical recycling; Pyrolysis; |
語 文 | 中文(Chinese) |