查詢結果分析
來源資料
相關文獻
- 利用流場可視化技術量測300mm晶圓載卸模組(FOUP/LPU)開門時FOUP內部流場行為之研究
- 晶圓傳遞盒開啟時濕度控制的新方案簡介
- 300mm晶圓載卸模組之氣流及污染粒子特性研究
- 300mm晶圓載卸模組之動態汙染粒子特性及呼吸孔有效性確認之研究
- 半導體廠晶圓先進製程之關鍵技術--晶圓盒開門時的濕度控制
- 蘭地古建築微環境之勘測
- Long-Term Bone Marrow Culture and the in Vitro Hematopoietic Microenvironment:The Optimal Conditions for Hematopoiesis in Long-Term Bone Marrow Culture
- 潔淨室的發展趨勢與微環境(Minienvironments)系統之應用
- 塔塔加地區臺灣雲杉、臺灣鐵杉林下及玉山箭竹微生育地環境之研究(1)
- 超潔淨微環境設計參數之實驗與模擬研究
頁籤選單縮合
題 名 | 利用流場可視化技術量測300mm晶圓載卸模組(FOUP/LPU)開門時FOUP內部流場行為之研究=Using Laser Flow Visualization Technique to Investigate the Flow Patterns of a FOUP/LPU during FOUP Door Opening Processes |
---|---|
作 者 | 胡石政; 阮彥閔; | 書刊名 | 潔淨科技 |
卷 期 | 30 2013.10[民102.10] |
頁 次 | 頁9-15 |
分類號 | 448.65 |
關鍵詞 | 晶圓傳送盒; 晶圓載卸機組; 微環境; FOUP; LPU; Mini-environment; |
語 文 | 中文(Chinese) |