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題名 | 利用軟、硬X光以多角度解析半導體界面薄膜=Investigation of the Semiconductor Interfacial Thin Film Using the AR-XPS Technique Combing with Soft and Hard X-rays |
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作者姓名(中文) | 楊庭嘉; 王嫚瑩; 黃珮禎; 張熏匀; 鄭怡媗; 黃行怡; 黃玉君; 林煒淳; | 書刊名 | 真空科技 |
卷期 | 36:1 2023.03[民112.03] |
頁次 | 頁34 |
關鍵詞 | X光光電子能譜儀; 硬X光光電子能譜儀; 角度解析X光光電子能譜技術; 表面分析技術; Al₂O₃鈍化層; 非破壞式縱深分析; |
語文 | 中文(Chinese) |