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題名 | 新型X光光電子能譜儀技術應用於半導體材料與元件分析=Novel X-ray Photoelectron Spectroscopy Techniques for the Analysis of Semiconductor Materials and Devices |
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作者姓名(中文) | 王嫚瑩; 黃珮禎; 朱伯芝; 王繼增; 張熏匀; 王翊愷; 李俊賢; 鄭怡媗; 林煒淳; | 書刊名 | 真空科技 |
卷期 | 36:1 2023.03[民112.03] |
頁次 | 頁32 |
關鍵詞 | 表面分析技術; 鈣鈦礦太陽能電池; X光光電子能譜儀; 紫外光光電子能譜儀; 低能量反轉光電子能譜儀; 可調控式氣體團簇離子濺射技術; 高能量硬X光光電子能譜儀; |
語文 | 中文(Chinese) |