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題 名 | 曲面真空濺鍍技術開發與應用=Development and Application of Vacuum Sputtering Technology on Curved Surface |
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作 者 | 詹惟翔; 林孟泓; 王俊杰; 李乘清; | 書刊名 | 新新科技年刊 |
卷 期 | 19 2023.01[民112.01] |
頁 次 | 頁28-39 |
分類號 | 468.3 |
關鍵詞 | 真空濺鍍; 曲面; 濺鍍模擬; Vacuum sputtering; Curved surface; Sputter simulation; |
語 文 | 中文(Chinese) |