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來源資料
科儀新知
232 2022.09[民111.09]
頁48-58
精密機械工藝
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顯微鏡
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題 名
三維原子級電子斷層顯微技術在半導體元件之應用=The Application of Three-dimensional Atomic Electron Tomography to Semiconductor Devices
作 者
彭裕庭
;
劉宇倫
;
陳健群
;
書刊名
科儀新知
卷 期
232 2022.09[民111.09]
頁 次
頁48-58
專 輯
原子解析度穿透式電子顯微鏡
分類號
471.73
關鍵詞
半導體元件
;
三維原子級電子斷層顯微技術
;
穿透式電子顯微鏡
;
聚焦離子束顯微鏡
;
語 文
中文(Chinese)
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