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題 名 | 三維電子斷層顯微重構技術於半導體元件結構分析=3D Electron Tomography for Semiconductor Device Structure Analysis |
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作 者 | 劉宇倫; 劉鈰誼; 張睦東; 陳健群; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 422 2022.02[民111.02] |
頁 次 | 頁43-51 |
專 輯 | 高階半導體檢測技術專題 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 電子斷層顯微術; 聚焦離子束; 掃描穿透式電子顯微鏡; 能量散射X射線譜; 電子能量損失譜; Electron tomography; Focused ion beam; FIB; Scanning transmission electron microscope; STEM; Energy-dispersive X-ray spectrum; EDS; Electron energy loss spectrum; EELS; |
語 文 | 中文(Chinese) |