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來源資料
奈米通訊
9:4 2002.11[民91.11]
頁18-25
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題 名
高解析掃描穿透式電子顯微鏡在後段金屬連線的應用
作 者
許瓊姿
;
蔡增光
;
潘扶民
;
吳文發
;
歐耿良
;
書刊名
奈米通訊
卷 期
9:4 2002.11[民91.11]
頁 次
頁18-25
分類號
471.713
關鍵詞
掃描穿透式電子顯微鏡
;
語 文
中文(Chinese)
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