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題名 | 四維掃描穿透影像系統(4D-STEM)於高階元件應力之檢測分析技術=Strain Analysis Technology of Advanced Devices Using Four-dimensional Scanning Transmission Electron Microscopy (4D-STEM) |
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作者 | 張睦東; 陳蓉萱; 羅聖全; | 書刊名 | 工業材料 |
卷期 | 422 2022.02[民111.02] |
頁次 | 頁32-42 |
專輯 | 高階半導體檢測技術專題 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 四維多元影像與繞射圖譜分析; 先進電子元件; 應力分析; 4D-STEM; Advanced electronic devices; Strain characterization; |
語文 | 中文(Chinese) |