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來源資料
微系統暨奈米科技協會會刊
46 2021.12[民110.12]
頁16-24
電機工程
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電燈廠
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題 名
以高功率脈衝磁控濺鍍方法探討鉭薄膜結晶β相與α相轉換行為與沉積參數之研究
作 者
陳暐杰
;
游喬伊
;
王昭穎
;
林明澤
;
書刊名
微系統暨奈米科技協會會刊
卷 期
46 2021.12[民110.12]
頁 次
頁16-24
分類號
448.57
關鍵詞
高功率脈衝磁控濺鍍
;
脈衝直流濺鍍
;
鉭薄膜
;
語 文
中文(Chinese)
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